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镀膜系统

镀膜仪(镀碳仪、喷金仪、离子溅射镀膜仪)

2020年-07月-01日 字体:
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国产/进口: 进口    
产地/品牌: 美国 产品类别: 电子显微镜
型       号: EMS 150R
 
EMS 450型镀碳仪(真空镀膜仪/喷碳仪/蒸镀仪)已经不再供货!更高级型号请看EMS150T系列http://www.hedebio.com/productshow_455.html。
    镀膜仪-EMS150R 型镀膜仪(真空镀膜仪/喷碳仪/蒸镀仪)采用最新技术研制而成,彩色触摸液晶屏,快速的参数输入,数种碳丝匹配,友好的用户界面,带给你不一般的操作感受!
产品参数:
仪器尺寸
585mm(W) x 470mm(D) x 410mm(H)
包装尺寸
725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)
工作腔室
硼硅酸盐玻璃152mm (内直径)x 127mm H
安全钟罩
聚乙烯对苯二酸,柱形
显示屏
彩色液晶320 x 240
用户界面
直观的图形界面,触摸键。记忆功能:维护提醒及最后十个镀膜方案日志记录
重量
28.4Kg
样品台
直径为50 mm的旋转样品台,上有6个样品座,可配15mm, 10mm, 6.5mm或者3.1mm样本座,转速为8-20rpm
真空泵
Edwards RV3 50L/s两级真空泵,Pirani 真空计
极限真空度
洁净系统可达 2x10-2 mbar,充氮气
喷镀真空范围
3 x 10-2 -5 x 10-1mbar
安培计
碳绳:0-60 Amps,1.4mm Ø碳棒:1-90 Amps
提供3个版本的仪器:

EMS150R S – 喷金仪/离子溅射仪(适用于真空喷镀非氧化型金属,如金,铂,钯等)

EMS150R E – 喷碳仪/碳蒸镀仪(适用于真空喷镀碳膜,特别适用于SEM)

EMS150R ES –真空镀膜仪(离子溅射仪和碳蒸镀仪的结合体)

产品信息:

货号
产品名称
规格
4500
EMS150R S Rotary pumped sputter coater, includes an 57mm Ø x 0.1mm gold target
4503
EMS150R E Rotary pumped carbon fibre evaporator,
supplied with carbon fibre / cord
4507
EMS150R ES Rotary pumped sputter coater, includes an 57mm Ø x 0.1mm gold target, and carbon fibre evaporator, supplied with carbon fibre / cord
 
喷镀耗材选购:
货号
产品名称
规格
4538
Carbon fibre cord - high purity – 1m
1m
4539
Carbon fibre cord - high purity - 5m
5m
4540
Carbon fibre cord - standard grade - 1m
1m
4541
Carbon fibre cord - standard grade - 10m
10m
4542
Carbon fibre cord - standard grade - 100m
100m
4543
Carbon rods - 3.05mm Ø x 50mm length (shaped)
10根
4544
Carbon rods 3.05mm Ø x 300mm length (unshaped)
10根
4546
Manual rod shaper for 3.05mm Ø carbon rods
4523
57mm Ø x 0.1mm Gold
4524
57mm Ø x 0.2mm Gold
4525
57mm Ø x 0.3mm Gold
4526
57mm Ø x 0.1mm Gold/Palladium (80/20%)
4527
57mm Ø x 0.2mm Gold/Palladium (80/20%)
4528
57mm Ø x 0.3mm Gold/Palladium (80/20%)
4529
57mm Ø x 0.1mm Platinum
4530
57mm Ø x 0.2mm Platinum
4561
57mm Ø x 0.3mm Platinum
4532
57mm Ø x 0.1mm Nickel
4533
57mm Ø x 0.1mm Silver
4534
57mm Ø x 0.1mm Palladium
4535
57mm Ø x 0.1mm Copper
4536
57mm Ø x 0.1mm Platinum/Palladium (80/20%)
4537
57mm Ø x 0.3mm Platinum/Palladium (80/20%)

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